用户登录
期刊信息
  • 主管单位：
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位：
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编：
  • 庄松林
  • 地  址：
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码：
  • 200093
  • 联系电话：
  • 021-55270110
  • 电子邮件：
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号：
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号：
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号：
  • 单  价：
  • 15.00
  • 定  价：
  • 90.00
排行榜
下载排行 点击排行 被引频次
友情链接
白光干涉测量系统计量特性的评价与校准
Evaluation and calibration of the measurement characteristics of white light interference systems
投稿时间：2024-06-17  
DOI：10.3969/j.issn.1005-5630.202406170078
中文关键词:  白光干涉  计量特性  校准  可溯源性
英文关键词:white light interference  measurement characteristics  calibration  traceability
基金项目:上海市市场监督管理局科技项目（2022-17）
作者单位E-mail
蔡潇雨 上海市计量测试技术研究院 国家市场监管重点实验室（生物分析计量溯源）,上海201203  
吴俊杰 上海市计量测试技术研究院 国家市场监管重点实验室（生物分析计量溯源）,上海201203  
魏佳斯 上海市计量测试技术研究院 国家市场监管重点实验室（生物分析计量溯源）,上海201203 weijs@simt.com.cn 
摘要点击次数: 1095
全文下载次数: 290
中文摘要:
      基于白光干涉原理的测量系统（如白光干涉显微镜）具有亚纳米级纵向分辨率、非接触、高效率场扫描等技术优点，常用于产品微纳尺度的表面形貌与结构测量。白光干涉测量系统计量特性的分析、评价和校准是一项复杂且具实际意义的工作，是该类仪器研究与应用的基础。结合白光干涉原理和相关国家标准中的界定与规定，对白光干涉测量系统的计量特性及其影响量进行理论分析。在此基础上，提出面向计量应用的白光干涉测量系统计量特性：测量范围和示值误差。针对上述计量特性进行了理论分析和测定、校准方法的论述，通过高精度台阶高度标准样板和线间隔标准样板对系统三轴示值误差进行校准，构建基于白光干涉测量系统的三维测量溯源链。
英文摘要:
      The measurement system based on the white light interference principle (such as white light interference microscope) has the technical advantages of sub-nanometer longitudinal resolution, non-contact, high efficiency of field scanning, etc., and is often used to measure the surface morphology and structure of products on the micro/nano scale. The analysis, evaluation, and calibration of the measurement characteristics of white light interferometry instruments is a complex and practical work, which is the basis of the research and application of this kind of instruments. Based on the principle of white light interference and the definition and regulation of relevant national standards, the measurement characteristics of the white light interference measurement system and the quantities influencing the system are analyzed theoretically. On this basis, the measurement characteristics of WLIS for metrological application are presented, i.e., measuring range and indicating error. Then, the theoretical analysis of the above measurement characteristics and their measurement and calibration methods are discussed. The three-axis measurement deviation of the system is calibrated by the standard template of step height and line interval, and the 3D measurement traceability chain based on the white light interference system is constructed.
HTML   查看全文  查看/发表评论  下载PDF阅读器
关闭

版权所有：
主管单位：中国科学技术协会 主办单位：中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会 主　　编：庄松林
地　　址：上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部 邮政编码：200093
技术支持：北京勤云科技发展有限公司