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薄膜应力分析及一些测量结果 |
Stress analysis of thin films and some testing results |
修订日期:2000-08-30 |
DOI: |
中文关键词: 热应力 形变 沉积 老化 |
英文关键词: |
基金项目: |
范瑞瑛 范正修 |
范瑞瑛(中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800) ;范正修(中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800)
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中文摘要: |
论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性,分析了应力的形成原因及沉积参数、老化条件的关系,给出了应力的简单测试方法及部分结果. |
英文摘要: |
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