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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
制冷器件晶粒相邻面准共焦成像检测的光学装置
An optical apparatus for inspecting adjacent surfaces defects of TEC components with quasi-confocal imaging system
投稿时间:2021-05-29  
DOI:10.3969/j.issn.1005-5630.2021.05.013
中文关键词:  机器视觉  光学设计  自动光学检测  半导体制冷晶粒
英文关键词:machine vision  optical design  automatic optical inspection  thermoelectric cooler(TEC)
基金项目:福建省科技重大专项(2019HZ020010)
作者单位
廖廷俤 泉州师范学院光子技术研究中心,福建 泉州 362000
福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室,福建 泉州 362000
福建省超精密光学工程技术与应用协同创新中心,福建 泉州 362000 
颜少彬 泉州师范学院光子技术研究中心,福建 泉州 362000 
段亚凡 泉州师范学院光子技术研究中心,福建 泉州 362000
福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室,福建 泉州 362000
福建省超精密光学工程技术与应用协同创新中心,福建 泉州 362000 
陈武 福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室,福建 泉州 362000 
黄启禄 泉州师范学院光子技术研究中心,福建 泉州 362000
福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室,福建 泉州 362000
福建省超精密光学工程技术与应用协同创新中心,福建 泉州 362000 
黄衍堂 福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室,福建 泉州 362000 
摘要点击次数: 1952
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中文摘要:
      提出了一种半导体制冷器件晶粒相邻面同时准共焦成像检测的光学装置。选择晶粒天面成像光路中直角反射转像棱镜到玻璃载物转盘之间的距离调节来实现双面准共焦成像。设计了晶粒相邻面缺陷同时准共焦成像检测的光学系统,完成了晶粒相邻面缺陷同时准共焦成像检测的实验验证。结果表明,该检测装置可以实现晶粒相邻面缺陷同时成像检测的功能,满足晶粒相邻面缺陷成像检测的性能要求。具有提高检测速度、简化结构且提高系统可靠性等优点,可在晶粒缺陷智能检测筛选系统中获得应用。
英文摘要:
      An optical apparatus with quasi-confocal imaging has been proposed for simultaneously inspecting adjacent surfaces defects of thermoelectric cooler (TEC) components. The quasi-confocal imaging can be obtained by choosing the separation between the right-angle reflection prism and the the glass plate. The optical apparatus for defects inspection has been designed and experimental investigations on surfaces defects inspection have been conducted. The results showed that the proposed optical apparatus allows one to simultaneously inspect the defects of adjacent surfaces of TEC components with carefully selected tele-centric imaging lens with sufficient depth of focus. It was concluded that the optical apparatus can meet the technical requirements for inspecting adjacent surfaces defects of TEC components. The apparatus has advantages of increased inspection speed, simplified system configuration and improved equipment reliability etc. It will be found applications in the intelligent defects inspection system of TEC components.
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