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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
瞄准误差对多通道X射线KB显微镜一致性的影响
The effect of aiming error on the consistency of multichannel X-ray Kirkpatrick-Baez microscope
投稿时间:2018-06-04  
DOI:10.3969/j.issn.1005-5630.2019.02.012
中文关键词:  KB显微镜  空间分辨率  像间隔  系统效率
英文关键词:KB microscope  spatial resolution  image interval  system efficiency
基金项目:国家重点研发计划项目(2017YFA0403300)
作者单位E-mail
陈志强 同济大学 物理科学与工程学院, 上海 200092
同济大学 教育部先进微结构材料重点实验室, 上海 200092 
 
李亚冉 同济大学 物理科学与工程学院, 上海 200092
同济大学 教育部先进微结构材料重点实验室, 上海 200092 
 
忻秋琪 同济大学 物理科学与工程学院, 上海 200092
同济大学 教育部先进微结构材料重点实验室, 上海 200092 
 
穆宝忠 同济大学 物理科学与工程学院, 上海 200092
同济大学 教育部先进微结构材料重点实验室, 上海 200092 
mubz@tongji.edu.cn 
摘要点击次数: 4253
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中文摘要:
      围绕着八通道Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜在神光-Ⅲ主机上的应用,分析了瞄准误差对该显微镜成像性能和通道间一致性的影响。通过光线追迹,模拟了X射线显微镜的空间分辨率、像点间隔和系统效率随视场和物像距的变化。从中心视场到±200 μm视场,空间分辨率下降约2.9 μm;从中心视场到±150 μm视场,系统效率降低了约60%;物距变化量在±200 μm范围时,像点间隔变化值约为0.67 mm,显微镜系统效率变化约为7%;像距变化量在±20 mm范围时,像点间隔变化值约为0.70 mm。结果表明,视场中心瞄准误差严重影响空间分辨率和效率,但对各通道间的像间隔影响较小。物距和像距误差对像间隔影响较大,但对空间分辨率和系统效率影响较小。
英文摘要:
      With eight-channel Kirkpatrick-Baez (KB) X-ray microscope applied to China's Shenguang-Ⅲ (SG-Ⅲ) laser facility, the effect of aiming error on imaging performance and the consistency of multichannel KB microscope were analyzed. The spatial resolution, image interval and system efficiency of X-ray microscope were simulated by ray-tracing model as a function of the field of view (FOV), object distance and image distance, respectively. The spatial resolution decreased by about 2.9 μm within range of ±200 μm and the efficiency of microscope system declined by about 60% within range of ±150 μm. The change of image interval and the efficiency of the microscope system were 0.67 mm and 7% respectively, when variety of object distance was changed within ±200 μm. The change of image interval was about 0.70 mm, when the image distance varies within range of ±20 mm. The results indicated that the aiming error of central FOV had a great effect on spatial resolution and system efficiency but it had no significant effect on image interval. The aiming error of object distance has impact upon image interval while it has lower influence on spatial resolution and system efficiency.
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