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  • 中国科学技术协会
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  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
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  • 庄松林
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  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
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一种便携式光学表面轮廓仪
A portable microscopic profilometer
投稿时间：2015-07-24  
DOI：10.3969/j.issn.1005-5630.2016.02.016
中文关键词:  短相干光相移干涉  表面轮廓  干涉显微镜  粗糙度
英文关键词:short-coherent light phase-shifting interferomotry  surface profile  interference microscope  roughness
基金项目:国家自然科学基金资助项目(U1231111)
作者单位E-mail
张瑜 南京理工大学 电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094  
陈宇琪 金智视讯技术有限公司, 江苏 南京 211100  
陈磊 南京理工大学 电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094 chenlei@njust.edu.cn 
摘要点击次数: 4032
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中文摘要:
      研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪,分析了短相干光干涉显微镜相移干涉技术,实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法,实现了一体化轮廓仪光路集成,优化了机械三维调整测量台,实现了可用于大、小口径元件表面测量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明,仪器的粗糙度测量精度为0.1 nm,重复性误差优于0.01 nm,横向分辨率优于1μm。
英文摘要:
      A portable microscopic profilometer is studied based on short-coherent light phase-shifting interferometric technique.The portable microscopic profilometer was designed and implemented which was based on short-coherent light interference microscopic techniques.The integration of the profilometer is achieved by integrating optical path.The design of mechanical 3D adjustment platform is optimized.The instrument contains upright and inverted measurement modes to adjust the detection of tiny and large aperture optical surfaces.The measurement experiments of the profilometer are carried out under laboratory condition.The instrument's accuracy is up to 0.1 nm.Repeatability error is better than 0.01 nm and lateral resolution is better than 1 μm.
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