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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计
Design of a high-precision reference spherical lens for Fizeau interferometer
投稿时间:2015-04-20  
DOI:10.3969/j.issn.1005-5630.2015.06.011
中文关键词:  光学设计  斐索干涉仪  标准镜头  面形测量
英文关键词:optical design  Fizeau interferometer  reference spherical lens  metrology
基金项目:国家科技重大专项资助课题(2009ZX02205)
作者单位
曲艺 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033 
苏东奇 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033 
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中文摘要:
      设计了一款口径为30.48 cm高精度斐索激光干涉仪参考镜,其F数为0.82,参考面半径为224.99 mm。所设计的参考镜其透射波前峰谷值为0.095λ,均方根值为0.028λ,透射波前斜率最大值为11μrad。理论分析了参考镜的回程误差对面形检测精度的影响,其最大值为0.29 nm。利用Zemax光学设计软件对参考镜进行了仿真分析,仿真与实验结果表明,该标准镜头可满足精度1 nm的元件面形检测需求。
英文摘要:
      A high-precision reference spherical lens is designed. The F number of the lens is 0.82. The wavefront PV value is 0.09λ and RMS value is 0.028λ. The slope of wavefront is 11μrad. We calculate the retrace error of the reference spherical lens. The maximum of retrace error is 0.29 nm. A part of surface is measured with the reference spherical lens. The results show that precision of 1 nm can be reached.
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