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Co/Mo2C多层膜热稳定性及界面特性研究
Thermal stability and interfacial characterization of Co/Mo2C multilayer
投稿时间：2015-02-03  
DOI：10.3969/j.issn.1005-5630.2015.05.016
中文关键词:  多层膜  热稳定性  界面特性
英文关键词:multilayer  thermal stability  interface
基金项目:国家自然科学基金(11305104);大科学装置联合基金重点项目(U1432244)
作者单位E-mail
冯志祥 同济大学物理科学与工程学院, 上海 200092  
李浩川 同济大学物理科学与工程学院, 上海 200092  
朱京涛 同济大学物理科学与工程学院, 上海 200092 jtzhu@tongji.edu.cn 
吴文娟 上海应用技术学院理学院, 上海 201418  
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中文摘要:
      为研究多层膜反射镜的热稳定性,设计制备了工作在778 eV处的Co/Mo2C多层膜,研究了多层膜在退火实验中的热稳定性及界面结构的变化。通过X射线反射测试表征及拟合退火前后多层膜的结构信息,并用X射线衍射表征多层膜退火过程中膜层晶相结构的变化。结果表明,多层膜的界面质量较好,未退火样品处于无定形态。在退火过程中,周期厚度变化小,多层膜的热稳定性优异。随着退火温度的升高,在Mo2C-on-Co界面处,Co从Co-C混合区域中析出生成Co3Mo晶粒,界面扩散程度加大,从而Co-on-Mo2C界面的热稳定性要优于Mo2C-on-Co界面。
英文摘要:
      Thermal stability of the multilayer plays an important role in the applications. Co/Mo2C multilayer working at 778 eV was designed and fabricated by direct current magnetron sputtering, and the characterization was performed by using X-ray reflection and X-ray diffraction. The experimental results indicate great thermal stability with its period contraction. The as-deposited Co/Mo2C multilayer is in amorphous and has a good interface, while interfacial diffusion appears as the annealing temperature rising, and the Co-on-Mo2C interface is more stable than the Mo2C-on-Co interface due to Co3Mo crystalline alloy generated in Mo2C-on-Co interface.
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