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  • 主管单位：
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位：
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编：
  • 庄松林
  • 地  址：
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码：
  • 200093
  • 联系电话：
  • 021-55270110
  • 电子邮件：
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  • 1005-5630
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高温质子交换铌酸锂波导制备工艺研究
Research of high-temperature proton-exchanged LiNbO3 waveguide fabrication technology
  
DOI：
中文关键词:  导波光学  铌酸锂波导  高温质子交换  相位调制器
英文关键词:guided wave optics  LiNbO3 waveguide  high temperature proton-exchanged  phase modulator
基金项目:
作者单位
王腾飞 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海200093
上海理工大学 教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海200093
上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室,上海200093 
陈抱雪 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海200093
上海理工大学 教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海200093
上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室,上海200093 
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中文摘要:
      研究了一种高温质子交换制备铌酸锂光波导的工艺技术,质子源是稀释的苯甲酸熔融液,通过提高蒸气压的方法实现了350 ℃质子交换,X线衍射测试表明波导层具有单纯的α相结构。采用该技术实验制备了铌酸锂Y分支波导,报告了波导单模特性的测试判断方法,研究了控制波导单模传输的工艺环节。测试表明,试制样品在1 310 nm和1 550 nm波长下具有良好的单模传输特性。
英文摘要:
      Experimental research of a high-temperature proton-exchanged LiNbO3 optical waveguide fabrication technology is carried out. The proton exchange source is diluted benzoic acid. The proton exchange at 350 ℃ is achieved by a process of improving the vapor pressure. The X-ray diffraction measurements show that the waveguide layer is uniform α-phase structure. LiNbO3 Y-branch waveguide is fabricated with this technology. The waveguide single-mode characteristic test judgment method and the technology concerning the controlling of waveguide single-mode transmission are also studied. The test shows that the trail sample has good single mode transmission characteristics in 1 310 nm and 1 550 nm wavelength.
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主管单位：中国科学技术协会 主办单位：中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会 主　　编：庄松林
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