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  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
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  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
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球面光学元件表面疵病检测技术研究
Detection technology research of spherical optical element surface defect disease
  
DOI：
中文关键词:  球面光学元件  表面疵病  散射光  机器视觉
英文关键词:spherical optical element  surface defect disease  scattering light  machine vision
基金项目:
作者单位
王科 西安工业大学 光电工程学院,陕西 西安710021 
刘缠牢 西安工业大学 光电工程学院,陕西 西安710021 
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中文摘要:
      针对现有球面光学元件表面疵病检测技术研究较少的情况,根据疵病对光的散射特性,提出了一种基于机器视觉技术检测球面光学元件表面疵病的方法。实验分析了光照角度、光强大小和球面光学元件曲率半径对疵病散射光成像质量的影响。并对口径为Φ14 mm,曲率半径为13 mm的球面光学元件表面进行了检测,实验表明,该技术对元件样品上10 μm以下的表面疵病可进行有效的检测。
英文摘要:
      Based on the fact that the current research of detection technology for spherical optical element surface defect disease was very little, on the basis of scattering properties between defect disease and light, a method of detection technology research for spherical optical element surface defect disease based on the machine vision technology was put forward. The experiments analyzed three factors (illumination angle, light powerful, radius of curvature) that affect the imaging quality of defect disease scattering light. In addition, the surface of spherical optical element was tested (caliber is 14 mm, curvature radius is 13 mm). Finally, it was proved that the technology could effectively detect defect disease with size less than 10 μm.
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