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| 基于改进型遗传算法的薄膜厚度及光学常数反演 |
| Inversions of thickness and optical constants of thin film based on improved genetic algorithm |
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| DOI: |
| 中文关键词: 光学薄膜 透过率 色散模型 遗传算法 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 吴先权 华文深 谢大兵 赵莉君 |
吴先权,华文深,谢大兵(军械工程学院,光学与电子工程系,河北,石家庄,050003) ;赵莉君(哈尔滨工业大学,理学院,黑龙江,哈尔滨,150001) ? |
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| 中文摘要: |
| 准确的测量薄膜的厚度和光学常数,在薄膜的制备、研究和应用中都十分重要.借助Cauchy色散模型和P阶评函数,通过薄膜透过率测量曲线,用改进的遗传算法对透过率曲线进行全光谱拟合,从而反演得到薄膜的厚度和光学常数.理论验证是对电子束蒸发制备的TiO2和反应磁控溅射制备的Si3N4薄膜进行测试拟合,计算得到的结果与文献报道的一致,误差小于0.5%. |
| 英文摘要: |
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