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| 基于波像差理论的光学系统评价函数 |
| Optical system merit function based on aberration theory |
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| DOI: |
| 中文关键词: XUV光学 单色仪 评价函数 优化设计 |
| 英文关键词: |
| 基金项目:国家自然科研基金资助项目,上海市教委创新基金资助项目? |
| 徐挺 朱国强 |
| 上海大学,精密机械工程系,上海,200072? |
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| 中文摘要: |
| 将Lu的平面对称光学系统的波像差理论与Koike定义的极紫外(XUV)光栅仪器的评价函数相结合,从而可以得到该评价函数关于光学系统参量的解析表达式.应用该评价函数优化一XUV单色仪光学系统,并运用光线追迹程序Shadow对该光学系统的优化结果进行数值成像计算和比较,证明现发展的评价函数是一种优化XUV光栅仪器十分有用的手段. |
| 英文摘要: |
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