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| 蓝宝石镀膜方法研究 |
| Study on coating method of sapphire |
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| DOI: |
| 中文关键词: 蓝宝石 物理性能 镀膜方法 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 尹旭琴 李仰军 卫丽芬 武毅 刘建勋 |
| 中北大学,信息与通信工程学院,山西,太原,030051? |
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| 中文摘要: |
| 蓝宝石具有一系列优异的光学和力学性能,使其在现代镀膜领域中倍受青睐.在一些高科技领域中,蓝宝石作为重要的功能材料,为实现不同的功能,选择不同的镀膜材料来实现.介绍了蓝宝石的主要物理性能,并对其作为衬底的几种镀膜方法作了简单介绍,包括磁控溅射法、脉冲激光沉积法、金属有机化学气相沉积法、电子束蒸发法. |
| 英文摘要: |
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