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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
基于非相干光反馈的表面轮廓测量仿真研究
Simulation analysis of surface imaging measurement based on incoherent optical feedback
  
DOI:
中文关键词:  非相干光反馈  表面轮廓测量  非接触测量  仿真研究
英文关键词:
基金项目:上海市研究生创新基金项目,上海市教委科研创新项目?
许炯  马军山  胡菊菊
上海理工大学,光电信息与计算机工程学院,上海,200093?
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中文摘要:
      对一种基于非相干光反馈的表面轮廓测量方法,对其进行了理论仿真研究.建立了基于非相干光反馈表面轮廓测量的系统模型,分析了不同反馈光耦合强度的输出特性,系统的稳定状态,注入电流对系统的影响,以及反馈强度和表面深度的关系.结果证明该方法的可行性,研究结果对系统参数设计具有参考价值.
英文摘要:
      
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