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| 甲烷浓度对MPCVD金刚石膜色度的影响 |
| The influence of MPCVD diamond film chromaticity on concentration of methane |
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| DOI: |
| 中文关键词: 色度学 金刚石膜 饱和纯度 色度纯度 |
| 英文关键词: |
| 基金项目:广州市属高校科技计划资助项目? |
| 杜康 徐伟 贺中信 吴智量 彭军 |
| 广州大学,物理与电子工程学院,广东,广州,510006? |
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| 中文摘要: |
| 运用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)装置,以氢气和甲烷为反应气体,沉积出八个金刚石膜样品.研究了甲烷浓度对所沉积金刚石膜色度的影响.结果显示随着甲烷浓度的升高,饱和纯度和色纯度逐渐升高,甲烷浓度达到5.863%时,饱和纯度和色度纯度达到最大,分别为8.5%和9.5%,之后随着CH4浓度的升高饱和纯度和色纯度开始下降. |
| 英文摘要: |
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