用户登录
期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
甲烷浓度对MPCVD金刚石膜色度的影响
The influence of MPCVD diamond film chromaticity on concentration of methane
  
DOI:
中文关键词:  色度学  金刚石膜  饱和纯度  色度纯度
英文关键词:
基金项目:广州市属高校科技计划资助项目?
杜康  徐伟  贺中信  吴智量  彭军
广州大学,物理与电子工程学院,广东,广州,510006?
摘要点击次数: 2918
全文下载次数: 10
中文摘要:
      运用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)装置,以氢气和甲烷为反应气体,沉积出八个金刚石膜样品.研究了甲烷浓度对所沉积金刚石膜色度的影响.结果显示随着甲烷浓度的升高,饱和纯度和色纯度逐渐升高,甲烷浓度达到5.863%时,饱和纯度和色度纯度达到最大,分别为8.5%和9.5%,之后随着CH4浓度的升高饱和纯度和色纯度开始下降.
英文摘要:
      
HTML   查看全文  查看/发表评论  下载PDF阅读器
关闭