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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
ICF靶丸表面形貌检测系统性能分析
Performance research of ICF target sphere surface profiler
  
DOI:
中文关键词:  原子力显微镜  靶丸表面形貌  模数  功率谱
英文关键词:
基金项目:国家863计划资助项目?
高党忠  马小军  赵学森
中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900?
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中文摘要:
      基于原子力显微镜与精密的气浮轴系,建立了靶丸表面形貌检测系统.对该系统的各项性能指标进行了评定,研究结果表明,系统的随机噪声误差在10nm量级,轴系的回转精度误差功率谱振幅在10-2量级,与微球轮廓功率谱幅度相差两个量级以上,系统的稳定性较好,波长为几百纳米以上的局部颗粒能够被精确分辨.
英文摘要:
      
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