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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
6.5~14μm红外长波通滤光片正面膜系的研制
Research of 6.5~14μm infrared long-wavelength pass filter pro-film system
  
DOI:
中文关键词:  红外  规整膜系  长波通滤光片  通带波纹  膜系设计
英文关键词:
基金项目:
朱铄金  朱丽慧  黄清伟
朱铄金,朱丽慧(上海大学,上海市现代冶金及材料制备重点实验室,上海,200072)
;黄清伟(上海普爱尔传感器有限公司,上海,201203)
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中文摘要:
      采用了规整膜系作为6.5~14μm红外长波通滤光片正面膜系的初始膜系,针对规整膜系中存在较大通带波纹的现象,利用Macleod光学薄膜分析软件有选择地对部分膜层进行优化.根据优化后的膜系设计结果,采用热电阻真空蒸发镀膜工艺镀制.光谱测试表明,膜系在6.5~14μm工作波段的通带波纹平坦,平均透过率达到88.5%,在3~5.5μm截止范围内Tmax<0.2%,并具有很好的截止带边缘陡度.该膜系具有工艺简单,膜厚监控易于操作的特点,适用于工业大规模生产.
英文摘要:
      
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