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| 6.5~14μm红外长波通滤光片正面膜系的研制 |
| Research of 6.5~14μm infrared long-wavelength pass filter pro-film system |
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| DOI: |
| 中文关键词: 红外 规整膜系 长波通滤光片 通带波纹 膜系设计 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 朱铄金 朱丽慧 黄清伟 |
朱铄金,朱丽慧(上海大学,上海市现代冶金及材料制备重点实验室,上海,200072) ;黄清伟(上海普爱尔传感器有限公司,上海,201203) ? |
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| 中文摘要: |
| 采用了规整膜系作为6.5~14μm红外长波通滤光片正面膜系的初始膜系,针对规整膜系中存在较大通带波纹的现象,利用Macleod光学薄膜分析软件有选择地对部分膜层进行优化.根据优化后的膜系设计结果,采用热电阻真空蒸发镀膜工艺镀制.光谱测试表明,膜系在6.5~14μm工作波段的通带波纹平坦,平均透过率达到88.5%,在3~5.5μm截止范围内Tmax<0.2%,并具有很好的截止带边缘陡度.该膜系具有工艺简单,膜厚监控易于操作的特点,适用于工业大规模生产. |
| 英文摘要: |
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