|
| 基于环形子孔径拼接法检测非球面研究 |
| Study on the test of aspheric surface based on annular subapertures stitching method |
| |
| DOI: |
| 中文关键词: 非球面 环形子孔径 光学检测 拼接 点衍射干涉仪 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 舒亮 邢廷文 何国良 |
舒亮,何国良(中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;中国科学院研究生院,北京,100039) ;邢廷文(中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209) ? |
| 摘要点击次数: 3123 |
| 全文下载次数: 14 |
| 中文摘要: |
| 介绍了基于点衍射干涉仪的环形子孔径拼接检测非球面的理论和方法,分析了其基本原理,相对传统非球面检测方法,这种方法可以有效避免高精度补偿器件的使用,它通过不同曲率半径的球面波前来匹配被测非球面的不同同心环带区域,然后通过拼接算法重构整个非球面表面.在对一非球面的仿真测试中,测量的PV值为λ/131,RMS值为λ/830(工作波长为632.8nm),试验表明:该算法是切实可行的,具有较高的精度. |
| 英文摘要: |
| |
| HTML 查看全文 查看/发表评论 下载PDF阅读器 |
| 关闭 |
|
|
|