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| 基于空间相移技术的平面干涉仪系统设计 |
| Design of plane interferometer based on spatial phase-shifting technology |
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| DOI: |
| 中文关键词: 空间相移 光栅分光 偏振干涉 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 严志云 沈琦 邬晔佳 |
严志云,邬晔佳,YAN Zhiyun,WU Yejia(同济大学,机械工程学院,上海,201804) ;沈琦,SHEN Qi(上海大学,机电工程与自动化学院,上海,200122) ? |
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| 中文摘要: |
| 时域相移技术由于需要在时域采集多幅干涉图而只擅长用于静态检测.为改善测量的动态特性,现提出了基于空间相移技术的平面干涉仪系统.采用基于偏振干涉和光栅分光的单CCD成像空间相移系统设计方案,设计了具有折叠式布局特点的干涉仪光路系统,建立了系统机械结构三维模型,结构紧凑、调整方便,并运用四步相移算法进行了模拟试验后数据处理.结果表明,所设计系统能够满足动态测量要求. |
| 英文摘要: |
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