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| 基于准分子激光的微结构与微器件加工制作研究 |
| Microstructure and microdevice fabrication using excimer laser micromachining technology |
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| DOI: |
| 中文关键词: 准分子激光 微加工 步进微动扫描台 微结构 微器件 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 郭利 刘超 章海军 |
| 浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027
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| 中文摘要: |
| 介绍了准分子激光微加工的机理,设计并研制了步进控制的二维微动扫描台,建立了一种基于准分子激光的微加工装置,通过计算机控制扫描路径,可实现点、线、面等基本微结构以及组合型微结构、微器件的加工制作.利用该准分子激光微加工装置,进行了微结构和微器件的加工实验,成功加工制作出齿轮形微结构和微型无芯薄膜变压器件.准分子激光微加工装置具有加工效率高、加工切口平整、可实现各种形状的微结构与微器件的加工等特点,可望在微机电系统(MEMS)及微纳米技术领域得到广泛应用. |
| 英文摘要: |
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