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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
基于激光干涉的长导轨直线度误差测量
Long guide linearity error measurement based on laser interference
  
DOI:
中文关键词:  激光干涉  直线度误差  长导轨  对比实验
英文关键词:
基金项目:
胡长德  陆加海  幸蜒  高娟
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中文摘要:
      介绍了一种基于激光干涉的长导轨直线度误差测量系统.由氦氖激光器产生激光光束,经准直后投射到被置于被测导轨上作为接收靶的楔形光学玻璃板上,产生干涉.将接收靶沿被测导轨移动,如果导轨有直线度误差,则接收靶过桥与导轨的接触点所形成的直线角度发生变化,导致干涉条纹发生移动,通过检测干涉条纹变化量就可以得到导轨的直线度误差.将光电传感器检测得到的干涉条纹移动量送入单片机系统处理,得到被测点相对于准直光束的偏移量.最后对系统进行了实测实验.实验表明:用该装置检测长度为50m的长导轨,直线度误差仅为623.103μm.
英文摘要:
      
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