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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
自适应微反射镜阵列制作与性能测试
Machining and functional testing of adaptive micro-mirror array
  
DOI:
中文关键词:  自适应光学  微反射镜  微光机电系统  微光学
英文关键词:
基金项目:航天支撑技术基金
阎传文  白剑  侯西云  杨国光
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中文摘要:
      为了改善微反射镜存在的驱动电压高、驱动力小的缺点,基于双金属效应,制得可调焦微光学自适应阵列.以硅为基底,先后经过热氧化、光刻显影、HF酸刻蚀、KOH湿法刻蚀,溅射铝膜等微加工工艺,制得的4×4阵列,基底厚50/μm,硅表面铝膜厚100nm.利用激光数字波面干涉仪对可调焦微反射镜的动态性能进行了测试.实验表明,在0~11V电压范围内,可产生最大7.91μm的连续变形.
英文摘要:
      
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