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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
反应离子束蚀刻中的草地现象及其改善
The grassy prominence and its Iustration in reaction ion etching processings
  
DOI:
中文关键词:  反应离子束刻蚀(RIE)  温度效应  二次效应  草地现象
英文关键词:
基金项目:
王晓松  冀翔  张恒伟  杨国光  范秋虎  时海
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中文摘要:
      针对波导沟道制作的蚀刻工艺,讨论利用反应离子束蚀刻技术制备波导沟道的工艺条件对面形的影响,对严重影响面型的草地现象形成原因和工艺改善进行实验实践,包括光刻胶、温度效应、二次效应等因素,并提出进行光学稳定、调节离子入射角和改变刻蚀气体压强等减小草地现象的措施,对蚀刻低损耗波导进行有益的探索.
英文摘要:
      
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