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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
触点式微型光热驱动器设计及实验研究
Design and research of the point-contact optothermal microactuator
  
DOI:
中文关键词:  触点式  光热膨胀  优化型  微型光热驱动器
英文关键词:
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划)
王旭龙琦  刘超  张冬仙
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中文摘要:
      随着微电机系统(MEMS)在众多领域的广泛应用,各种形式的微型驱动器不断得到发展.介绍微尺度光热膨胀与光热微驱动的原理,设计与加工制作了基本型和优化型触点式微型光热驱动器,开展了光热微驱动的实验研究,证明了光热微驱动的可行性,并验证了优化型触点式微型光热驱动器的优化性能.
英文摘要:
      
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