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| 触点式微型光热驱动器设计及实验研究 |
| Design and research of the point-contact optothermal microactuator |
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| DOI: |
| 中文关键词: 触点式 光热膨胀 优化型 微型光热驱动器 |
| 英文关键词: |
| 基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划) |
| 王旭龙琦 刘超 张冬仙 |
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| 中文摘要: |
| 随着微电机系统(MEMS)在众多领域的广泛应用,各种形式的微型驱动器不断得到发展.介绍微尺度光热膨胀与光热微驱动的原理,设计与加工制作了基本型和优化型触点式微型光热驱动器,开展了光热微驱动的实验研究,证明了光热微驱动的可行性,并验证了优化型触点式微型光热驱动器的优化性能. |
| 英文摘要: |
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