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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
锑掺杂纳米SnO2透明导电薄膜的制备与性能研究
Preparation and properties of antimony-doped nanocrystalline tin oxide thin film
  
DOI:
中文关键词:  Sb掺杂的SnO2薄膜  溶胶-凝胶  光学电学性能
英文关键词:
基金项目:粤港关键领域重点突破项目
王银玲  徐雪青  徐刚  何新华
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中文摘要:
      采用溶胶-凝胶法在Si片、已镀SiO2的钠钙硅玻璃和普通钠钙硅玻璃上镀Sb掺杂摩尔分数为8%的SnO2薄膜(ATO),在450℃热处理温度下对薄膜结构,电学、光学性能进行表征.结果表明:薄膜以四方金红石结构存在,结晶完全;方阻值随镀膜层数的增加而明显降低,12层时薄膜最低方阻值为129Ω/□,可见光平均透过率在75%以上.随着波长的增大,红外波段的反射率逐渐增大,从15% 增加到55% 左右.
英文摘要:
      
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