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| 一种快速检测非球面面形的新方法 |
| A novel method of fast testing aspheric surfaces |
| 修订日期:2007-06-22 |
| DOI: |
| 中文关键词: 非球面 波面拟合 面形检测 波面相减 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 李庆国 权贵秦 马卫红 |
李庆国(西安工业大学光电工程学院,陕西,西安,710032) ;权贵秦(西安工业大学光电工程学院,陕西,西安,710032) ;马卫红(西安工业大学光电测试技术研究所,陕西,西安,710032)
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| 中文摘要: |
| 目前非球面面形的检测方法大部分复杂且费时.介绍了在干涉测量法的基础上利用ZYGO干涉仪的波面相减功能,用波面相减的方法对非球面面形进行测量.利用Matlab软件进行程序设计解决该方法中对理想非球面的Zernike系数计算的关键技术,并验证了程序的正确性.这种方法达到直接检测的目的,缩短检测时间和成本. |
| 英文摘要: |
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