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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
一种快速检测非球面面形的新方法
A novel method of fast testing aspheric surfaces
  修订日期:2007-06-22
DOI:
中文关键词:  非球面  波面拟合  面形检测  波面相减
英文关键词:
基金项目:
李庆国  权贵秦  马卫红
李庆国(西安工业大学光电工程学院,陕西,西安,710032)
;权贵秦(西安工业大学光电工程学院,陕西,西安,710032)
;马卫红(西安工业大学光电测试技术研究所,陕西,西安,710032)
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中文摘要:
      目前非球面面形的检测方法大部分复杂且费时.介绍了在干涉测量法的基础上利用ZYGO干涉仪的波面相减功能,用波面相减的方法对非球面面形进行测量.利用Matlab软件进行程序设计解决该方法中对理想非球面的Zernike系数计算的关键技术,并验证了程序的正确性.这种方法达到直接检测的目的,缩短检测时间和成本.
英文摘要:
      
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