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| 基于光谱能量分析的介质厚度测量方法 |
| The measurement method for medium thickness based on spectral energy analysis |
| 修订日期:2007-05-22 |
| DOI: |
| 中文关键词: 光学测量 光谱能量分析 厚度检测 光谱仪 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 陈志超 |
陈志超(西安工业大学,光电工程学院,陕西,西安,710032)
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| 中文摘要: |
| 介绍了一种对厚度很小的平行玻璃平板厚度的高精度测量方法.通过激光束垂直照射被测物,用光谱仪接受并分析反射光各波长的能量.以此数据分析出介质对不同波长光线的反射率,找出反射率极大的波长.使用这些具有反射极大的波长进行计算,就得到介质的厚度值.该测量方案结构简单,测量精度较高. |
| 英文摘要: |
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