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| 基于平板扫描器的新型AFM系统 |
| A new type of atomic force microscope system based on plate scanner |
| 修订日期:2006-11-18 |
| DOI: |
| 中文关键词: 平板扫描器 原子力显微镜(AFM) 传统扫描器 交叉耦合误差 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 于海峰 刘超 张冬仙 |
于海峰(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027) ;刘超(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027) ;张冬仙(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027)
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| 中文摘要: |
| 研制了一种基于平板扫描器的新型原子力显微镜(AFM)系统.该系统创新地把二维平板扫描器和一维反馈控制器相结合,有效地克服了传统扫描器Z向反馈控制与XY扫描平面之间的非线性交叉耦合误差,同时保证了大范围扫描时检测光路的稳定性.利用该系统与传统AFM作了氧化铝薄膜和光栅对比扫描实验,结果表明这种AFM系统能够获得无扭曲、规则的理想图像. |
| 英文摘要: |
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