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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
基于平板扫描器的新型AFM系统
A new type of atomic force microscope system based on plate scanner
  修订日期:2006-11-18
DOI:
中文关键词:  平板扫描器  原子力显微镜(AFM)  传统扫描器  交叉耦合误差
英文关键词:
基金项目:
于海峰  刘超  张冬仙
于海峰(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027)
;刘超(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027)
;张冬仙(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027)
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中文摘要:
      研制了一种基于平板扫描器的新型原子力显微镜(AFM)系统.该系统创新地把二维平板扫描器和一维反馈控制器相结合,有效地克服了传统扫描器Z向反馈控制与XY扫描平面之间的非线性交叉耦合误差,同时保证了大范围扫描时检测光路的稳定性.利用该系统与传统AFM作了氧化铝薄膜和光栅对比扫描实验,结果表明这种AFM系统能够获得无扭曲、规则的理想图像.
英文摘要:
      
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