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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
液态源MOCVD控制系统研究
Research on control system of the liquid source MOCVD
  修订日期:2006-08-14
DOI:
中文关键词:  MOCVD  可编程逻辑控制器  触摸屏  控制系统
英文关键词:MOCVD,programmable logic controller(PLC),touch panel,control system
基金项目:
李岗  高爱华
西安工业大学光电工程学院 陕西西安710032
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中文摘要:
      金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术是当前研制和生产先进化合物半导体材料的最主要技术.结合液态源MOCVD设备控制系统的组成与特点,给出了液态源MOCVD控制系统,该系统采用可编程逻辑控制器和触摸屏实现了整个系统的控制和管理,取得了满意的研究结果.
英文摘要:
      Modern MOCVD technology has been a key technology in developing and manufacturing advanced compound semiconductor materials.In this paper,based on the composition and character of control system of liguid source MOCVD,a programmable logic controller and touch panel controlled liguid source MOCVD system is well implemented for the control and management of the whole material growing process.It is satisfactory for the system in material growth.
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