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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
利用功率谱密度函数表征光学薄膜基底表面粗糙度
Specifying surface roughness of optical film substrate using the power spectral density
  修订日期:2006-06-30
DOI:
中文关键词:  光学基底  表面粗糙度  均方根值  功率谱密度
英文关键词:optical substrate,surface roughness,rms roughness,power spectral density
基金项目:教育部新世纪人才基金 , 同济大学校科研和教改项目
沈正祥  王占山  马彬  徐敬  陈玲燕
同济大学精密光学工程技术研究所物理系 上海200092
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中文摘要:
      光学表面的表面粗糙度通常利用两个传统参数方根粗糙度σ和相关长度l来进行表征.主要就如何引入功率谱密度函数(PSD)表征表面微观形貌进行了初步研究.说明了一维和二维功率谱密度(PSD)函数的数学计算方法、 PSD函数的物理意义,同时给出了PSD函数与传统的表面评价指标σ和l之间的关系.利用不同仪器对多种样品进行测试,在分析比较测试结果的基础上,总结了利用PSD函数评价光学表面粗糙度的优点.功率谱密度函数作为一个全面的光学表面评价参数,正得到越来越广泛的重视和应用.
英文摘要:
      
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