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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
窄带Mo/Si多层膜反射镜
Narrowband Mo/Si multilayers mirrors
  修订日期:2006-06-30
DOI:
中文关键词:  窄带  多层膜  反射率  高级反射  同步辐射
英文关键词:narrowband,multilayers,reflectivity,high order reflection,synchrotron radiation
基金项目:国家自然科学基金 , 教育部新世纪人才基金 , 同济大学校科研和教改项目
吴文娟  朱京涛  王风丽  张众  王洪昌  张淑敏  王占山  陈玲燕  周洪军  霍同林
同济大学精密光学工程技术研究所物理系 上海200092(吴文娟,朱京涛,王风丽,张众,王洪昌,张淑敏,王占山,陈玲燕)
,中国科技大学国家同步辐射实验室 安徽合肥230029(周洪军,霍同林)
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中文摘要:
      设计并制备了窄带Mo/Si多层膜反射镜.利用高反射级次和减小Mo层厚度两种方法减小Mo/Si多层膜反射镜光谱宽度.对Mo层厚度分别为2 nm和3 nm的Mo/Si多层膜,设计了反射级次分别从1到6的多层膜系.制备方法采用直流磁控溅射技术,在国家同步辐射光谱与计量站上测试.结果表明,带宽随着反射级次增加而减少,在同一反射级次,Mo层厚度为2 nm的多层膜反射光谱带宽较小.
英文摘要:
      
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