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| 窄带Mo/Si多层膜反射镜 |
| Narrowband Mo/Si multilayers mirrors |
| 修订日期:2006-06-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 窄带 多层膜 反射率 高级反射 同步辐射 |
| 英文关键词:narrowband,multilayers,reflectivity,high order reflection,synchrotron radiation |
| 基金项目:国家自然科学基金
,
教育部新世纪人才基金
,
同济大学校科研和教改项目 |
| 吴文娟 朱京涛 王风丽 张众 王洪昌 张淑敏 王占山 陈玲燕 周洪军 霍同林 |
同济大学精密光学工程技术研究所物理系 上海200092(吴文娟,朱京涛,王风丽,张众,王洪昌,张淑敏,王占山,陈玲燕) ,中国科技大学国家同步辐射实验室 安徽合肥230029(周洪军,霍同林)
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| 中文摘要: |
| 设计并制备了窄带Mo/Si多层膜反射镜.利用高反射级次和减小Mo层厚度两种方法减小Mo/Si多层膜反射镜光谱宽度.对Mo层厚度分别为2 nm和3 nm的Mo/Si多层膜,设计了反射级次分别从1到6的多层膜系.制备方法采用直流磁控溅射技术,在国家同步辐射光谱与计量站上测试.结果表明,带宽随着反射级次增加而减少,在同一反射级次,Mo层厚度为2 nm的多层膜反射光谱带宽较小. |
| 英文摘要: |
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