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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
组合镀膜法制备集成滤光片列阵
Integrated filter array fabricated by using the combinatorial deposition technique
  修订日期:2006-06-30
DOI:
中文关键词:  组合  镀膜  集成  滤光片  列阵
英文关键词:combinatorial,deposition,integrated,filter,array
基金项目:国家自然科学基金 , 上海市青年科技启明星计划 , 国家重点基础研究发展计划(973计划)
王少伟  李明  夏长生  王海千  陈效双  陆卫
中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 上海200083(王少伟,夏长生,陈效双,陆卫)
,合肥微尺度物质科学国家实验室(筹)
中国科学技术大学-Shincron联合实验室中国科学技术大学 安徽合肥230026(李明,王海千)
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中文摘要:
      为实现集成滤光片列阵在单片衬底上的高效制备,提出组合镀膜法,通过磁控反应溅射,以Nb2O5和SiO2为介质材料,仅通过8次镀膜就成功制备出了集成64通道的滤光片面阵.滤光片面阵的总体尺寸只有12mm×12mm,各个滤光片通道基本呈线性分布在720.5nm~877.2nm之间,带宽在1.82nm~3.92nm之间.结果表明,组合镀膜法是一种高效的集成滤光片列阵制备方法.
英文摘要:
      
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