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| 组合镀膜法制备集成滤光片列阵 |
| Integrated filter array fabricated by using the combinatorial deposition technique |
| 修订日期:2006-06-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 组合 镀膜 集成 滤光片 列阵 |
| 英文关键词:combinatorial,deposition,integrated,filter,array |
| 基金项目:国家自然科学基金
,
上海市青年科技启明星计划
,
国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| 王少伟 李明 夏长生 王海千 陈效双 陆卫 |
中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 上海200083(王少伟,夏长生,陈效双,陆卫) ,合肥微尺度物质科学国家实验室(筹) 中国科学技术大学-Shincron联合实验室中国科学技术大学 安徽合肥230026(李明,王海千)
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| 中文摘要: |
| 为实现集成滤光片列阵在单片衬底上的高效制备,提出组合镀膜法,通过磁控反应溅射,以Nb2O5和SiO2为介质材料,仅通过8次镀膜就成功制备出了集成64通道的滤光片面阵.滤光片面阵的总体尺寸只有12mm×12mm,各个滤光片通道基本呈线性分布在720.5nm~877.2nm之间,带宽在1.82nm~3.92nm之间.结果表明,组合镀膜法是一种高效的集成滤光片列阵制备方法. |
| 英文摘要: |
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