用户登录
期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
光学直接监控技术在镀膜中的应用
Direct optical monitoring in deposition plants
  修订日期:2006-06-30
DOI:
中文关键词:  光学直接监控  大面积上的高成品率  等离子辅助沉积  等离子辅助反应磁控溅射  塑料基材  direct optical monitoring  high yield in large area  PIAD  PARMS  plastic
英文关键词:direct optical monitoring  high yield in large area  PIAD  PARMS  plastic
基金项目:
哈哥顿  哈咯  高茨曼  瑞纳  克鲁哥  维纳  祖勒  阿冯
HAGEDORN Harro(Leybold Optics,Co.,Ltd., Alzenau D-63755, Germany)
GOETZELMANN Rainer(Leybold Optics,Co.,Ltd., Alzenau D-63755, Germany)
KLUG Werner(Leybold Optics,Co.,Ltd., Alzenau D-63755, Germany)
ZOELLER Alfons(Leybold Optics,Co.,Ltd., Alzenau D-63755, Germany)
摘要点击次数: 2268
全文下载次数: 12
中文摘要:
      展示真实的工艺结论,介绍在基片本身或监控片上进行光学直接监控的方法应用于大面积(最大基片盘直径φ1400 mm)镀膜的成功经验.直接监控技术可以最快速的再现高难度的设计要求,保证大面积,高精度镀膜设备上的高成品率.文中列举的各类多层膜的实验结果清楚地证明了这种强大的监控手段的应用潜力.可使用直接监控方式镀膜的膜系包括截至滤光片,偏振膜,分光膜以及多腔带通滤光片.所有这些膜系都是在PIAD(等离子辅助沉积)和PARMS(等离子体辅助反应磁控溅射)的方式下完成的.实验的重复性和均匀性体现了直接监控的优势.在塑料基底上应用等离子体辅助工艺的关键在于调整离子源或等离子源本身.他们改变热度和等离子轰击的能力通常是工艺的关键因素,从而使工艺更适合于象塑料这样对温度和等离子轰击敏感的基材.
英文摘要:
      
HTML   查看全文  查看/发表评论  下载PDF阅读器
关闭