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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
在固定比较片上用上反射监控方法生产窄带干涉滤光片
Coating a narrow band-pass optical filter by using back reflective method monitored on a static and change-able test glass
  修订日期:2006-06-30
DOI:
中文关键词:  反射  监控  离子辅助镀膜(IAD)
英文关键词:reflective,monitoring,ion assistance deposion(IAD)
基金项目:
闫宏  马志亮
北京光电技术研究所 北京100010(闫宏)
,北京电影机械研究所 北京100026(马志亮)
摘要点击次数: 1957
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中文摘要:
      采用上反射法在可更换的固定比较片上对光学镀膜过程进行监控,有利于优化离子束辅助镀膜工艺.介绍了实现这种监控方法的独特系统结构,即采用直角棱镜和自准直光路分离监控光束;对工艺过程和主要结果进行了描述.该监控系统的控制精度优于千分之五,耦合层控制精度优于百分之五,得到了和透射法监控相同的结果.
英文摘要:
      The best ion assistance deposition(IAD) effects could be obtained by using back reflective optical monitoring strategy on a static and change-able test glass.We demonstrated the configuration of our unique structure including a right angle prism and a self-alignment lens to split a monitoring light beam.The coating process and main results of this system were described.The control error is less then 0.5% for general layers and 5% for couple layers.The same result with the transparent monitoring method was achieved.
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