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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
飞秒脉冲激光沉积类金刚石膜实验研究
Experimental research of pulse laser deposition of diamond-like carbon films by femtosecond laser
  修订日期:2006-06-30
DOI:
中文关键词:  类金刚石膜(DLC)  飞秒激光  脉冲激光沉积  保护膜
英文关键词:diamond-like carbon films(DLC),femtosecond laser,pulse laser deposittion(PLD),protective coatings
基金项目:
郭延龙  张玺  曹海源  袁孝  张熹  胡婷婷  卢常勇  万强
武汉军械士官学校光电研究所 湖北武汉430075(郭延龙,张玺,曹海源,胡婷婷,卢常勇,万强)
,华中科技大学光电子科学与工程学院 湖北武汉430074(袁孝,张熹)
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中文摘要:
      期望用类金刚石膜作为硅的红外保护/增透膜,采用波长为800nm,脉宽50fs,重复频率1KHz的Ti:Sapphire飞秒激光器及石墨靶材在单晶Si片上沉积了约0.7μm~1μm厚的类金刚石膜(diamond-like carbon films,DLC),获得了光滑致密,硬度显著提高,红外透过率有一定增加的样品.通过对薄膜拉曼光谱和X射线光电子能谱等的测试,发现单脉冲能量在0.4mJ~1.6mJ范围内变动时,单脉冲能量0.8mJ获得的类金刚石膜综合性能最佳,其对应的焦斑功率密度计算值为1.4×1014W/cm2.
英文摘要:
      
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