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| 介质反射光栅中多层膜计算的研究 |
| Analysis on multilayer calculation of dielectric reflection gratings |
| 修订日期:2006-06-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 介质反射光栅 严格耦合波方法 增强透射矩阵 多层介质膜 |
| 英文关键词:dielectric reflection gratings,rigorous coupled wave analysis,enhanced transmittance matrix,multilayer dielectric, |
| 基金项目: |
| 严晖 顾培夫 |
| 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027 |
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| 中文摘要: |
| 介绍了采用增强透射矩阵进行计算的严格耦合波方法,将这种方法应用到介质反射光栅的多层膜计算中.通过与商用软件计算结果的对比,证明这种计算方法的计算结果是准确可信的.与已有的计算方法比较,该方法简化了介质反射光栅的计算工作. |
| 英文摘要: |
| Stable implementation of the rigorous coupledwave analysis for surface-relief gratings,enhanced transmittance matrix approach, is presented.This method is applied to the calculation of dielectric reflection gratings.The calculating result is precise and credible.Comparing with the existed method,this analyse dramatically simplifies the simulation process. |
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