用户登录
期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
微光学自适应技术中基于PZT薄膜的微反射镜工艺研究
Technical study of micro-mirror based on PZT films in adaptive optics
  修订日期:2005-08-29
DOI:
中文关键词:  自适应光学  微反射镜  PZT薄膜  逆压电效应
英文关键词:adaptive optics,micro-mirror,PZT film,converse piezoelectric effect
基金项目:
张巍  娄迪  叶辉  白剑  杨国光
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027
摘要点击次数: 2521
全文下载次数: 12
中文摘要:
      介绍了微光学自适应技术中基于PZT(PbZrxTi1-xO3)薄膜的微反射镜单元及其制作工艺.该制作过程中用重掺杂硅片作为基底和下电极,采用了钛酸丁脂[(C4H9O)4Ti]、乙酸铅[Pb(CH3COO2)·3H2O]以及异丙醇锆[Zr(OCH(CH3)24·(CH3)2CHOH]为原料,通过溶胶-凝胶法(sol-gel)制作薄膜,薄膜厚度为纳米级.制成的PZT薄膜通过逆压电效应产生形变,对反射镜面局部进行微调,实现波前位相控制.
英文摘要:
      
HTML   查看全文  查看/发表评论  下载PDF阅读器
关闭