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| 基于光杠杆原理的纳米级微位移测量系统研究 |
| Study on a nanometer system for displacement measurement based on optical lever |
| 修订日期:2005-06-14 |
| DOI: |
| 中文关键词: 光杠杆 纳米检测 PSD MEMS |
| 英文关键词:optical lever,nanometer displacement measurement,PSD,MEMS, |
| 基金项目: |
| 张攀峰 吴宇 刘晓旻 杨国光 |
| 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027 |
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| 中文摘要: |
| 介绍了一种基于光杠杆原理的光学微位移测量系统.该系统的理论分辨力为4nm,实验测得系统分辨力小于10nm.经过实验,验证了该系统的可行性.实验结果表明,该装置灵敏度及重复性好,结构简单,便于构成微电子机械系统--MEMS(micro electro mechnical systems),实现系统微型化及自动化. |
| 英文摘要: |
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