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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
基于PZT微驱动的激光直写自动调焦系统动态特性分析
Analysis of dynamic characteristics of focusing system based on PZT micro-actuator
  修订日期:2005-06-08
DOI:
中文关键词:  微动台  动态响应  调焦系统  激光直写
英文关键词:micro-actuator,dynamic response,focusing system,laser direct writing system
基金项目:
闫玮  梁宜勇  杨国光
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027
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中文摘要:
      为提高激光直写调焦系统的稳定性和响应速度,从弹性力学角度出发,对调焦执行机构微动台进行了力和位移关系的建模,并全面分析了其动态响应特性,动态特性分析为PID调节提供了理论依据.在PID校正中着重加强微分超前调节作用,缓解了系统相位滞后的问题,从而使系统得到较好的稳定度和响应速度.通过激光直写试验验证调焦系统的调焦精度为0.2μm.
英文摘要:
      
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