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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
直径6英寸半绝缘砷化镓单晶生长技术通过专家鉴定
  
DOI:
中文关键词:  半绝缘砷化镓  单晶生长技术  专家鉴定  中国科学院半导体研究所  直径  国际先进水平  技术指标  研究成果  有限公司  晶片加工
英文关键词:
基金项目:
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中文摘要:
      由中国科学院半导体研究所和北京中科镓英半导体有限公司共同承担的“863项目”——直径6英寸半绝缘砷化镓单晶生长技术研究成果,不久前通过了专家鉴定。鉴定委员会认为,该项目研制出的晶体技术指标均达到同期国内领先、国际先进水平,并且晶片加工技术指标也达到了国际先进水平。
英文摘要:
      
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