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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
一种并行共焦显微镜的设计与研制
Design and manufacture of a kind of parallel confocal microscopy
  修订日期:2005-04-06
DOI:
中文关键词:  并行共焦测量,表面检测,微调结构
英文关键词:parallel confocal micro-measurement,surface measure,fine-tuning device
基金项目:国家自然科学基金资助项目(50175024),教育部科学技术研究重点项目(01103)
高晓斌  余晓芬
合肥工业大学仪器仪表学院 安徽合肥230009
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中文摘要:
      并行共焦显微镜是一种综合了光学、机械、电子、计算机及数字图像处理等技术,具有较高的横向和纵向分辨力的新颖三维表面无损检测仪器.为了保证其装配调节方便,在关键部件的结构设计上采用了微调结构,主要介绍了并行共焦显微镜的光学系统、物镜组设计、关键部件的微调结构设计及结构组成。
英文摘要:
      
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