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| 新型惯性式微驱动器及其在微纳米定位中的应用 |
| A novel inertial micro-actuator and its application in positioning mechanism |
| 修订日期:2005-03-23 |
| DOI: |
| 中文关键词: 压电陶瓷,惯性,微位移,定位机构 |
| 英文关键词:piezo element,inertia,micro displacement,positioning mechanism |
| 基金项目: |
| 刘超 章海军 张冬仙 |
| 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027 |
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| 中文摘要: |
| 研制了一种基于压电陶瓷的惯性式微驱动器,其驱动电压直接由电子线路产生。介绍了微驱动器的工作原理和结构设计,测试了微驱动器的位移特性和动态响应性能。结果表明,在电压幅值20V~350V、频率20H z~125H z范围内,微驱动器可产生平稳和均匀的运动,平均步长在60nm~1502nm范围内连续可调,最大运动速度可达120μm/s。且驱动行程不受限制。给出了微驱动器在扫描隧道显微镜定位机构中的应用实例。 |
| 英文摘要: |
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