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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
新型惯性式微驱动器及其在微纳米定位中的应用
A novel inertial micro-actuator and its application in positioning mechanism
  修订日期:2005-03-23
DOI:
中文关键词:  压电陶瓷,惯性,微位移,定位机构
英文关键词:piezo element,inertia,micro displacement,positioning mechanism
基金项目:
刘超  章海军  张冬仙
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027
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中文摘要:
      研制了一种基于压电陶瓷的惯性式微驱动器,其驱动电压直接由电子线路产生。介绍了微驱动器的工作原理和结构设计,测试了微驱动器的位移特性和动态响应性能。结果表明,在电压幅值20V~350V、频率20H z~125H z范围内,微驱动器可产生平稳和均匀的运动,平均步长在60nm~1502nm范围内连续可调,最大运动速度可达120μm/s。且驱动行程不受限制。给出了微驱动器在扫描隧道显微镜定位机构中的应用实例。
英文摘要:
      
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