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| 基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统 |
| A measuring system of film thickness based on atomic force microscope |
| 修订日期:2005-07-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 原子力显微镜,步进电机,薄膜厚度,纳米 |
| 英文关键词:AFM,step motor,film thickness,nanometer |
| 基金项目: |
| 赵君臣 章海军 张冬仙 |
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027
(赵君臣,章海军) ,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027(张冬仙)
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| 中文摘要: |
| 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比,该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明。该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。 |
| 英文摘要: |
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