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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统
A measuring system of film thickness based on atomic force microscope
  修订日期:2005-07-30
DOI:
中文关键词:  原子力显微镜,步进电机,薄膜厚度,纳米
英文关键词:AFM,step motor,film thickness,nanometer
基金项目:
赵君臣  章海军  张冬仙
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027 (赵君臣,章海军)
,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027(张冬仙)
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中文摘要:
      研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比,该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明。该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。
英文摘要:
      
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