|
| 基于AFM的光盘形貌研究 |
| The study of optical disk pattern based on AFM |
| 修订日期:2004-12-13 |
| DOI: |
| 中文关键词: 原子力显微镜(AFM),光盘,凹坑,检测 |
| 英文关键词:atomic force microscope(AFM),optical disk,pit,detection |
| 基金项目: |
| 孙大许 刘万里 马强 闫勇刚 |
河南理工大学精密工程研究所 河南焦作454003
(孙大许,刘万里,马强) ,河南理工大学精密工程研究所 河南焦作454003(闫勇刚)
|
| 摘要点击次数: 2294 |
| 全文下载次数: 18 |
| 中文摘要: |
| 介绍了原子力显微镜(AFM)的原理及特点。用AFM对光盘上记录信息用的凹坑结构进行了三维检测,并对测量结果进行了分析。结论表明AFM在光盘质量检测过程中具有独特的优势。 |
| 英文摘要: |
| The paper introduces the principle and characteristic of atomic force microscope(AFM).It is used to three-dimensional detect pit structure on optical disk,and analyzed measure results.The obtained results demonstrate the AFM have particular advantages in detecting the quality of optical disk. |
| HTML 查看全文 查看/发表评论 下载PDF阅读器 |
| 关闭 |