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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
AFM纳米加工系统设计
Nano-fabrication system based on atomic force microscopy
  修订日期:2004-09-15
DOI:
中文关键词:  AFM,纳米结构,刻蚀
英文关键词:AFM,nano-structure,lithography
基金项目:
朱吉牧  章海军  张冬仙
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027,浙江杭州310027,浙江杭州310027
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中文摘要:
      利用自行研制原子力显微镜开发了一套纳米加工系统,系统利用软件预先读入图形,根据图形控制探针的精确走向,实现复杂图案的矢量式扫描刻蚀,并且对陶瓷管的非线性畸变实现了软件矫正,实验表明系统可加工出精细的纳米图形,为进一步加工出更为精细复杂的纳米器件奠定了基础。
英文摘要:
      A new nano-fabrication system based on AFM is presented. Using this system,a sophisticated pattern can be obtained on the surface of Al_2O_3,getting the pattem from a picture by software to control the precise steps of the cantilever and the tip. The no-linear aberration of piezo-tube is corrected by software of this system.In the experiment, structure of nano-scale is obtained, and more sophisticated nano elements can be obtained in further research.
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