|
| 用于镀制超薄银膜的一种有效的监控方法 |
| A simple improved method upon fabricating super-thin silver film |
| 修订日期:2004-06-14 |
| DOI: |
| 中文关键词: 光学薄膜,超薄薄膜,薄膜技术,膜厚监控 |
| 英文关键词:optical film,super-thin film,thin film technique,thinkness control |
| 基金项目: |
| 林炳 于天燕 张凤山 |
| 中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所 上海200083,上海200083,上海200083 |
| 摘要点击次数: 2433 |
| 全文下载次数: 12 |
| 中文摘要: |
| 银经常被应用于制备诱导增透滤光片,在这种宽带滤光片中,银膜的厚度一般在几个纳米,这样使得精确监控银的厚度很困难。提出一种简单易行的改进方法,通过在蒸发源上方加一个调速挡板,结合晶振膜厚仪,可以获得±0.4nm以内控制精度的超薄银膜。 |
| 英文摘要: |
| |
| HTML 查看全文 查看/发表评论 下载PDF阅读器 |
| 关闭 |
|
|
|