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| 用光子晶体制作可见光超棱镜 |
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| 中文关键词: 光子晶体 棱镜 波导 光波长 列阵 蚀刻 可见光 长方形 直径 电子束 |
| 英文关键词: |
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| 中文摘要: |
| 据美国《Photonis Spectra》杂志报道,英国南安普敦大学与Mesophotonics有限公司的研究人员最近制备出了一种能够在可见光波长上工作的光子晶体超棱镜。这种光子晶体超棱镜的结构是通过用电子束平印术和干蚀刻法在位于N型硅上的氮化硅波导中蚀刻160nm直径气孔制成的。光子晶体呈186μm×500μm大小的长方形列阵状,它有600行气孔。 |
| 英文摘要: |
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