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| 抗振型移相干涉测量术的进展 |
| Advances in vibration-insensitive phase-shifting interferometric metrology |
| 修订日期:2003-12-19 |
| DOI: |
| 中文关键词: 移相干涉仪,振动,抗振技术 |
| 英文关键词:phase-shifting interferometer, vibration, vibration-insensitive technique |
| 基金项目:国防军工计量"十五"计划重点项目(60803134) |
| 吴栋 朱日宏 陈磊 王青 何勇 高志山 |
| 南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院 江苏南京210094镇江船艇学院江苏镇江212003,江苏南京210094,江苏南京210094,江苏南京210094,江苏南京210094,江苏南京210094 |
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| 中文摘要: |
| 移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的。为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术。从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展。目前具有抗振功能的移相干涉测试技术日益受到重视。 |
| 英文摘要: |
| Interferometry is sensitive to environment vibration. Vibration can easily led to uncertainty of optical path difference in phase-shifting interferometry and result in erroneous optical testing during on-line measurements. In this paper, the development of vibration-insensitive pbase-shifting technology is introduced in such aspects: phase-shifting algorithms, gathering of phase-shifting interferograms, optical structure, vibration detecting and compensation. |
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