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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
抗振型移相干涉测量术的进展
Advances in vibration-insensitive phase-shifting interferometric metrology
  修订日期:2003-12-19
DOI:
中文关键词:  移相干涉仪,振动,抗振技术
英文关键词:phase-shifting interferometer, vibration, vibration-insensitive technique
基金项目:国防军工计量"十五"计划重点项目(60803134)
吴栋  朱日宏  陈磊  王青  何勇  高志山
南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院 江苏南京210094镇江船艇学院江苏镇江212003,江苏南京210094,江苏南京210094,江苏南京210094,江苏南京210094,江苏南京210094
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中文摘要:
      移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的。为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术。从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展。目前具有抗振功能的移相干涉测试技术日益受到重视。
英文摘要:
      Interferometry is sensitive to environment vibration. Vibration can easily led to uncertainty of optical path difference in phase-shifting interferometry and result in erroneous optical testing during on-line measurements. In this paper, the development of vibration-insensitive pbase-shifting technology is introduced in such aspects: phase-shifting algorithms, gathering of phase-shifting interferograms, optical structure, vibration detecting and compensation.
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