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| 大口径超光滑表面粗糙度非接触检测系统 |
| A measurement system for the roughness of ultra smooth surface with large aperture |
| 修订日期:2003-11-27 |
| DOI: |
| 中文关键词: 超光滑,粗糙度,干涉仪,无损检测 |
| 英文关键词:ultra smooth,roughness,interferometer,nondestructive measurement |
| 基金项目: |
| 吴璀罡 杨甬英 |
| 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027,浙江杭州310027 |
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| 中文摘要: |
| 介绍了一种应用激光双焦干涉原理测量大口径超光滑表面粗糙度的检测系统。该系统采用共路干涉和电子共模抑制技术,减小了测试环境的影响,消除了激光光强波动引起的系统误差。同时,采用紧凑的光学干涉头移动的扫描方式,因此能够测量大口径光学元件。系统的横向分辨力为0.5μm,纵向分辨力为0.1nm,系统的重复性优于2%。 |
| 英文摘要: |
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