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| 利用光镊系统实现纳米加工的理论和实验研究 |
| Study of theory and experiment on implement of nano-machining using optical-tweezer system |
| 修订日期:2003-11-10 |
| DOI: |
| 中文关键词: 光镊,微粒子,纳米加工 |
| 英文关键词:optical-tweezer,micro-particles,nano-machining |
| 基金项目:国家自然科学基金资助项目(60106005) |
| 王晓娜 白剑 侯西云 杨国光 |
| 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027中国计量学院浙江杭州310018,浙江杭州310027,浙江杭州310027,浙江杭州310027 |
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| 中文摘要: |
| 阐述光镊形成的基本原理,利用几何光学和动量守恒定律对激光势阱中约10μm大小的高强度微粒子(如:金刚石、碳化硅、石英等)受力进行分析。同时建立了实验装置,通过操纵微粒子的运动,实现对硅表面的纳米加工,并通过实验比较,定性分析最佳加工条件(如:激光功率和加工基底参数)。 |
| 英文摘要: |
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