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| 激光球面干涉仪系统误差的测量 |
| Measurement of the systematic error of the laser sphericity interferometer |
| 修订日期:2003-08-25 |
| DOI: |
| 中文关键词: 波像差,干涉测量,移相技术,相位展开 |
| 英文关键词:wave aberration,interferometric measurement,phase-shifting technique,phase unwrapping |
| 基金项目: |
| 吴航行 |
| 中国科学院上海技术物理研究所 上海200083 |
| 摘要点击次数: 2513 |
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| 中文摘要: |
| 为了定标测量系统、提高测量精度,在简要论述了激光球面干涉仪的原理以后,采用移相技术,获得了四幅干涉图,并提取出范围在[-π,π)之间的相位。然后,利用相位消跳变算法,展开得到连续的相位。最后经过消倾斜和离焦等后继处理,得到了系统的波面误差。 |
| 英文摘要: |
| In order to calibrate the system and improve the accuracy of measurement, the systematic error of the laser sphericity interferometer is measured, by means of phase shifting technique and phase unwrapping technique. Then the wave error is calculated by subtracting tilt and defocus from the unwrapped phase. |
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